莫雷为测量地球和以太的相对速度，行了著名的迈克尔逊－莫雷实验。实验结果显示，不同方向上的光速没有差异。这实际上证明了光速不变原理，即真空中光速在任何参照系下有相同的数值，与参照系的相对速度无关，以太其实并不存在。后来又有许多实验支持了上面的结论。

以太说曾经在一段历史时期内在人们脑中固，刻地左右着理学家的思想。著名理学家洛兹推导了符合电磁学协变条件的洛兹变换公式，但无法抛弃以太的观。

19世纪90年代，洛兹提了新的概念，他把质的电磁质归之于其中同原相联系的电的效应。至于质中的以太，则同真空中的以太在密度和弹上都并无区别。他还假定，运动时并不带动其中的以太运动。但是，由于中的电随运动时，不仅要受到电场的作用力，还要受到磁场的作用力，以及运动时其中将现电介质运动电，运动质中的电磁波速度与静止质中的并不相同。

在考虑了上述效应后，洛兹同样推了菲涅耳关于运动质中的光速公式，而菲涅耳理论所遇到的困难(不同频率的光有不同的以太)已不存在。洛兹据束缚电的迫振动，可推折率随频率的变化。洛兹的上述理论被称为电论，它获得了很大成功。

19世纪末可以说是以太论的极盛时期。但是，在洛兹理论中，以太除了荷载电磁振动之外，不再有任何其他的运动和变化，这样它几乎已退化为某象的标志。除了作为电磁波的荷载和绝对参照系，它已失去所有其他生动的理质，这就又为它的衰落创造了条件。

如上所述，为了测地球相对以太参照系的运动，实验度必须达到很的量级。到19世纪80年代，麦克尔逊和莫雷所作的实验第一次达到了这个度，但得到的结果仍然是否定的，即地球相对以太不运动。此后其他的一些实验亦得到同样的结果，于是以太一步失去了作为绝对参照系的质。这一结果使得相对原理得到普遍承认，并被推广到整个理学领域。

在19世纪末和20世纪初，虽然还行了一些努力来拯救以太，但在狭义相对论确立以后，它终于被理学家们所抛弃。人们接受了电磁场本就是质存在的一形式的概念，而场可以在真空中以波的形式传播。

量力学的建立更加了这观，因为人们发现，质的原以及组成它们的电、质和中等粒的运动也有波的属。波动已成为质运动的基本属的一个方面，那仅仅把波动理解为某媒介质的力学振动的狭隘观已完全被冲破。

然而人们的认识仍在继续发展。到20世纪中期以后，人们又逐渐认识到真空并非是绝对的空，那里存在着不断的涨落过程(虚粒的产生以及随后的湮没)。这真空涨落是相互作用着的场的一量效应。

今天，理论理学家一步发现，真空有更复杂的质。真空态代表场的基态，它是简并的，实际的真空是这些简并态中的某一特定状态。目前粒理中所观察到的许多对称的破坏，就是真空的这特殊的“取向”所引起的。在这观上建立的弱相互作用和电磁相互作用的电弱统一理论已获得很大的成功。

但因斯坦则大胆抛弃了以太学说，认为光速不变是基本的原理，并以此为发之一创立了狭义相对论。虽然后来的事实证明确实不存在以太，不过以太假说仍然在我们的生活中留下了痕迹，如以太网等。